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超临界流体技术(SCF)
2024.09.19

超临界流体:

超临界流体(英语:Supercritical fluid, SCF)是一种物质状态,当物质在超过临界温度及临界压强以上,气体与液体的性质会趋近于类似,最后会达成一个均匀相之流体现象。



1、主要应用于以CoWoS为主的2.5D、3D先进封装的清洗,Gap<10μm

Die size>100*100mm,Chip pitch>500μm

2、精密清洗,可支持<14nm制程,主要应用DRAM,HBM,MEMS等

 

1. 类似气体的扩散性

2. 液体的溶解性

3. 粘度低

4. 表面张力低



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